华芯国际鹏城工厂的中央控制室里,三十二块监控屏幕同时亮着,每一块都在跳动着不同的数据流。
方明德站在最大的那块屏幕前面,西装袖口的扣子在三个小时前就解开了。他的视线紧盯着屏幕右上角那个不断刷新的数字——晶圆良率实时监控。这个数字就像一根绞索,系在华芯国际所有人的脖子上。
林远舟站在他身后两步远的地方,双手插在白大褂口袋里,看起来像是在等公交车。
」方总,您不用一直盯着。」他说。
方明德回过头,看了他一眼。这位华芯国际的掌门人在商场上见过各种大风大浪,但此刻他的眉心锁着一个深深的褶皱。
」你让我不盯着?」方明德的声音有些沙哑,」整条产线为了你的方案改了三十七处工艺参数,光掩膜版就换了十一套。三十七处。十一套。」他重复了一遍这两个数字,像是在提醒自己这个赌注有多大。
林远舟当然知道。
华芯国际为了配合7nm蜂巢拓扑方案的量产,几乎把鹏城工厂最先进的那条线拆了重建。每改一处工艺参数,就是一笔天文数字的开销。方明德不是在心疼钱——他是在赌。
赌林远舟的方案能在量产在线复现实验室的结果。
实验室流片和工厂量产之间有一道巨大的鸿沟。实验室里你可以精雕细琢每一片晶圆,工厂里一天要跑成百上千片。温度波动、光刻对准误差、刻蚀均匀性——任何一个环节出问题,良率就会像跳水运动员一样一头栽下去。
」第一批晶圆已经进入光刻工序了。」产线负责人周海从侧面走过来,递上一份实时报告。他是华芯国际的老人了,干了二十年晶圆制造,见过太多实验室数据漂亮、上了产线却惨不忍睹的案例。
」第一层光刻对准偏差是多少?」林远舟问。
周海看了一眼数据:」3.2纳米。在规格范围内。」
」不够。」
周海愣了一下。」3.2纳米已经是我们产线的最好水平了。规格要求是正负5纳米——」
」蜂巢拓扑的互链接构是非正交的。」林远舟走到控制台前,手指点开光刻对准的参数界面,」传统的曼哈顿布线只有横竖两个方向,对准偏差在任何方向上效果一样。但蜂巢布线有三个方向——0度、60度、120度。3.2纳米的偏差如果恰好落在60度方向上,实际等效偏差会放大到……」
他在脑中快速计算了一下。科技树给他的知识里有一整套蜂巢拓扑量产的工艺适配方案——这些东西比设计方案本身更加宝贵,因为它们意味着这项技术真正从论文变成产品。
」3.7纳米。」他说,」还在规格内,但裕量太小。量产的波动会把你推到边界之外。」
周海的表情变了。
他干了二十年晶圆制造,第一次遇到一个芯片设计师比他更懂产线参数的。
」你建议怎么调?」
」光刻机的对准算法里有一个补偿因子,通常设为1.0。把它改成,然后在第二层和第三层的曝光串行之间加一步额外的对准校验。」
周海迟疑了一秒。改对准算法的补偿因子不是不可以,但这意味着每片晶圆的光刻时间要增加大约四十秒——一天下来就是几十片产能的损失。
方明德看了看林远舟,又看了看周海。
」照他说的做。」
周海点了点头,转身去下达指令。
林远舟重新退回到方明德身后,双手插回口袋。
方明德低声说了一句:」你小子,到底是设计芯片的还是造芯片的?」
林远舟没回答。他闭上眼睛,在意识空间中看到了科技树底部那个已经稳定发光的7nm节点。节点周围环绕着一圈细密的光丝,像脉搏一样有节奏地跳动。
那是灵感点的实时反馈。每当7nm技术在现实中更进一步,光丝就跳动得更快。
现在,它在等待。
等待第一批量产晶圆跑完全部工序。
等了十八个小时。
方明德中间离开了两次,去处理公司的其他事务。周海换了三个班次的工程师。连赵恺都从研究院跑过来了,带了两大袋零食和四罐红牛,声称」精神支持也是支持」。
只有林远舟一直在控制室里。他没有紧张——科技树给他的知识告诉他,只要工艺参数调到位,结果不会差。但量产不是实验室,变量太多,他必须盯着每一个环节。
凌晨三点十七分,第一批晶圆完成了全部工序。
测试探针接触晶圆表面的那一刻,控制室里所有人都不由自主地屏住了呼吸。
数据开始在屏幕上跳动。
一颗芯片。通过。
两颗芯片。通过。
十颗、二十颗——
周海瞪大了眼睛。
」良率……」他的声音有点发颤,」第一片晶圆,Good Die数量——」
他咽了一口唾沫。
」83%。」
控制室里有人倒吸了一口冷气。量产在线的第一片晶圆就做到83%——这在7nm工艺上几乎是不可想像的。通常第一批量产的良率只有实验室数据的一半甚至更低。
但林远舟皱了一下眉。
83%。比实验室的87%低了四个百分点。
」等一下。」他走到测试终端前,调出了失效芯片的分布图。每一颗不合格的芯片在晶圆上的位置被标记为红色光点——他盯着这些红点看了十秒钟。
」规律性失效。」他说。
周海凑过来看:」你是说——」
」你看这些失效芯片的分布。」林远舟用手指在屏幕上画了一条线,」不是随机的,是沿着晶圆的径向呈环形分布。这说明问题出在旋涂工序——光刻胶的厚度在晶圆边缘区域有系统性偏差。」
他转向周海:」你们的匀胶机转速是多少?」
」3200转/分。」
」改成3350。旋涂时间从30秒延长到35秒。」
周海记下了参数,但他的表情说明他没完全理解为什么这样改就能解决问题。林远舟也没解释——有些事情解释起来太复杂,不如直接看结果。
第二批晶圆在六个小时后出炉。
良率:86%。
第三批。
88%。
第四批——参数完全稳定之后——
91%。
九十一。
周海的手真的在抖了。他在华芯国际干了二十年,7nm良率最高纪录是实验室条件下的53%。国际上最先进的代工厂,环球晶圆和极星电子,量产良率也不过70%出头。
91%。
这个数字出现在屏幕上的时候,控制室里安静了大约五秒钟,然后爆发出一阵压抑不住的欢呼声。
方明德的手机在这时候响了。他看了一眼来电显示,走到角落接了电话。
林远舟没有去听他在说什么,但他注意到方明德的声音在微微发抖——不是恐惧,是一种他从未在这个商业老手脸上见过的情绪。
像是难以置信。
十分钟后,方明德挂了电话,走回来。他的眼眶有一点点泛红,但表情已经恢复了那种特有的精明和沉稳。
」刚才是京都的电话。」他说,」科技委那边已经知道了。」
」这么快?」赵恺从零食堆里探出头来。
」这种事情不可能瞒住。」方明德看着林远舟,」工厂里几百号人,产线数据系统和科技委有联动。第一片晶圆83%的数据出来的那一刻,他们就知道了。」
他顿了一下:」科技委的意思是——尽快准备新闻发布会。」
林远舟擡起头。
」现在的良率数据已经足够支撑量产了。」方明德说,」7nm自主芯片,良率91%,全面达到国际一线水平。这个消息,该让全世界知道了。」
此刻,在林远舟的意识深处,科技树发出了一声低沉的嗡鸣。
灵感点数值开始跳动。
**「技术产品量产上市 — 灵感点 +1500」**
**「打破行业封锁 — 灵感点 +500」**
**「当前灵感点」**
两千零一十点。
上次流片成功给了他500点。而量产——把实验室的东西变成真正的产品,打入市场,改变行业格局——系统给出的奖励是实验室的四倍。
这印证了他之前的猜测:科技树奖励的不是研究,而是落地。不是你」知道」什么,而是你」做到」了什么。
他在意识中展开科技树的全景。左在线方,5nm工艺节点稳定地发着光,旁边那个若隐若现的」多重曝光替代方案」需要200灵感点——现在他有绰绰有余。
但他没有急着解锁。
因为更远的地方,有一个更大的节点在等着他。
**「碳基芯片 | T2突破级 | 所需灵感点:500」**
如果说7nm和5nm是在现有赛道上追赶,那碳基芯片就是换一条全新的赛道。硅基半导体的物理极限就在那里——再怎么优化,也逃不出硅的天花板。碳基芯片意味着彻底推翻棋盘。
但现在不是想这些的时候。
赵恺不知道什么时候凑到了他身边,手里还攥着半包薯片。
」远舟。」赵恺的声音难得地认真,」我刚才看数据的时候,手都在抖。你知道吗?91%。我入行这么多年,从来没见过这种数字出现在量产在线。你到底是怎么做到的?」
林远舟看了他一眼。赵恺的眼睛里有兴奋、有佩服,还有一丝他试图掩饰但没藏住的困惑。
」你是不是觉得我最近很不正常?」林远舟反问。
赵恺的嘴巴动了动,薯片碎屑从嘴角掉下来。他显然被这个直球打了个措手不及。
」我没——」
」你想了很久了。」林远舟平静地说,」从7nm方案那晚开始,你就一直在观察我。不用解释,换成我也会觉得奇怪。」
赵恺沉默了一会儿。周围工程师们还沉浸在庆祝的气氛中,没人注意到角落里这两个人的对话。
」我不知道你经历了什么。」赵恺最终说,」但我知道一件事——你比以前强太多了,不是那种'进步了一点'的强,是那种完全变了一个人的强。老实说,我有时候会害怕。」
」怕什么?」
」怕这种好事来得太突然。」赵恺的圆脸上罕见地没有笑容,」天上掉馅饼的故事,从来没有好结局。」
林远舟沉默了几秒。
赵恺说得对。天上掉的东西,从来不是免费的。科技树给了他前所未有的知识,但这些知识的代价是什么?那个在迷雾深处跳动的另一团光又意味着什么?
他还没有答案。
但他知道一件事——有些路一旦走上去,就不可能回头了。
」走一步看一步吧。」他拍了拍赵恺的肩膀,」先把量产的事情做好。」
新闻发布会定在三天后。
三天时间,林远舟协助华芯国际完成了最后的产品测试和数据整理。每一颗」昆仑一号」芯片都经过了完整的功能测试和老化筛选,性能数据稳定得让周海团队啧啧称奇。方明德亲自审核了所有对外发布的技术指针——他是商人,知道数据公布出去就是承诺,不能有半点水分。
第一款基于蜂巢拓扑架构的7nm芯片被命名为」昆仑一号」——这是陈正华亲自定的名字。老院长在给芯片命名的时候少见地笑了,说」昆仑是华国的脊梁山脉,我们做的芯片也该有这个骨气」。
发布会当天,鹏城国际会展中心的新闻厅坐满了人。国内所有主流媒体、十几家国际通信社、半导体行业的分析师和投资人。方明德穿了他最贵的那套西装,头发梳得一丝不苟。
陈正华坐在第一排。他今天没穿白大褂,换了一套深色中山装。六十二年的风雨刻在他的脸上,但腰板依然挺得笔直。
林远舟站在台下角落里。他不喜欢站在聚光灯下——这不是他的战场。
方明德的声音通过话筒传遍全场:」今天,华芯国际正式发布自主研发的7nm制程芯片——昆仑一号。」
大屏幕上亮起了芯片的显微照片。蜂巢拓扑结构的六角形排列在放大后呈现出一种异样的美感——不同于传统芯片整齐划一的网格,它更像是大自然中蜂巢的精密结构。
」昆仑一号采用全球首创的蜂巢拓扑架构,量产良率达到91%,主要性能指针达到国际一线水平。这标志着华国在7nm芯片领域实现了完全自主可控。」
现场的快门声像暴雨一样密集。
国际通信社的记者们飞速敲击着笔记本键盘——这条新闻将在一小时内传遍全世界。
林远舟不在意这些。他的注意力在另一个地方。
发布会直播信号通过卫星覆盖全球。此刻,在太平洋另一端,芯谷一间灯光昏暗的实验室里,直播画面投射在一面巨大的落地窗上。
一个金发男人背对着窗户坐在转椅上,修长的手指交叉搭在膝盖上。屏幕上方明德的声音被翻译成英文本幕滚动着——」完全自主可控」、」蜂巢拓扑」、」量产良率91%」。
维克多·科瓦列夫没有看屏幕。
他闭着眼睛,嘴角微微上扬,像是在听一首有趣的曲子。
」Dr. Kovalev?」一个助手推门进来,」华国发布了——」
」我知道。」维克多的声音低沉而平静,带着一丝斯拉夫口音,」7nm,蜂巢拓扑,良率91%。很好的成绩。」
」您不担心吗?这会影响到我们在材料分支上的——」
」担心?」维克多睁开眼睛。
那双冰蓝色的眼睛里没有恐惧,甚至没有紧张。有的只是一种猎手看到猎物终于出现时的兴奋。
」不。」他说,」我等这一天很久了。」
他转过身,面对落地窗上的直播画面。画面正好切到发布会现场的远景——人头攒动中,角落里有一个穿白大褂的年轻人正低头看着什么。
维克多盯着那个模糊的身影看了三秒。
然后他笑了。
」终于开始有意思了。」